日本KOFLOC 3200系列质量流量控制器，是新型质量流量控制器，已在半导体，液晶，燃烧，分析和生物等广泛领域得到验证。它是一种适用于新Cofflock标准的高性能型号。

日本KOFLOC 3200系列质量流量控制器：

应用于多个OEM设备场合，尤其适合微小流量测量，适用于燃气低压力、泄漏测试的低流量、半导体等使用，±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用，可定制0.02-1SCCM微小流量。

特点：

• 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
• 采用常闭阀门，方向操作安全
• 采用隔膜阀，减少死体积
• F.1. SCCM分钟流量支持（SR选项）
• 低压差兼容燃气控制（LP选项） 

日本KOFLOC 3200系列质量流量控制器

性能参数：

电器连接：

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。

 ★使用注意

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作

尺寸图：