如何在使用中保持质量流量控制器的精度？

如何在使用中保持质量流量控制器的精度？

　　质量流量控制器是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。而质量流量控制器的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于低值(0.1MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用质量流量控制器时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使质量流量控制器进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。那么如果质量流量控制器出现流量偏差精度不高是一件非常严重的事情，因此当出现偏差精度不高的问题我们需及时的解决，那么如何避免质量流量控制器出现流量偏差精度不高的问题呢？

　1、出现精度不高有偏差的检查方法：

　　a、看零点是否有漂移。接通电源，质量流量控制器信号为0的情况下，测量输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号；

　　b、看气体是否纯净。如果气路有污染，那么流量就肯定会收到影响，这个时候可以用高纯N2多次清扫；

　　c、看前端压力是否发达到标定压力。如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程，或考虑用低压损质量流量控制器；

　　2、质量流量控制器使用中的注意事项：

　　a、根据介质、流量及工作场地的不同，选择合适的流量计/控制器型式；

　　b、根据不同型式的流量计选择合理的方式安装；

　　c、定期维护，经常检查流量计工作状态、显示器的连接；

　　d、定期校准质量流量计/控制器。